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製品情報

FPD製造装置

塗布現像

SKシリーズ
SKシリーズ
コータ・デベロッパ
SK-Nシリーズ
SK-Nシリーズ
コータ・デベロッパ

塗布(コータ)

LFシリーズ
LFシリーズ
カラーフィルタ用コータ
NP-750G/2200G
NP-750G/2200G
ノズルプリンティング装置
LC-Mシリーズ
LC-Mシリーズ
マルチコータ

ウェット処理

TSシリーズ
TSシリーズ
洗浄装置
TEシリーズ
TEシリーズ
ウェットエッチング装置
TRシリーズ
TRシリーズ
レジスト剥離装置

露光

MA-6000シリーズ
MA-6000シリーズ
自動精密露光装置
MA-5000シリーズ
MA-5000シリーズ
自動精密露光装置
MA-1000シリーズ
MA-1000シリーズ
手動式露光装置
PA-6000シリーズ
PA-6000シリーズ
縦型精密露光装置

成膜装置、その他

ウェット成膜装置

RTシリーズ
RTシリーズ
ロールtoロール塗工乾燥装置
NP-750G/2200G
NP-750G/2200G
ノズルプリンティング装置
ロールtoロール塗工乾燥装置
ロールtoロール塗工乾燥装置
燃料電池対応
LC-Mシリーズ
LC-Mシリーズ
マルチコータ

実験・評価用装置

ウェット成膜装置(実験・評価用)

NP-200G/300G
NP-200G/300G
ノズルプリンティング装置
LC-R300G/400G
LC-R300G/400G
スリット式塗布装置
RT-R350F
RT-R350F
ロールtoロール塗工乾燥装置

ドライ成膜装置(実験・評価用)

VC-R400G/F
VC-R400G/F
実験用LIAプラズマCVD装置
VS-R400G/F
VS-R400G/F
実験用LIAスパッタ装置
真空成膜研究用システム
真空成膜研究用システム
株式会社イー・エム・ディーのサイトへ(当社グループ会社)

その他(実験・評価用)

VA-R400G
VA-R400G
減圧乾燥装置
ホットプレート焼成装置
ホットプレート焼成装置
MC-R100P
MC-R100P
小型ウェットケミカル 処理装置
VE-R400G
VE-R400G
実験用LIAドライエッチング装置
MA-1000シリーズ
MA-1000シリーズ
手動式露光装置

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