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自動精密露光装置 MA-5000シリーズ

自動精密露光装置 MA-5000シリーズ

特長

  1. タクトタイム約20 秒のハイスピード露光。
  2. 独自の光学式ギャップセンサにより、マスクと基板間のプロキシミティギャップを非接触で高速・高精度に設定。
  3. 独自の光学式エッジセンサにより、基板端面と非接触で高精度にアライメント。
  4. 独自の高速画像処理技術で、マスクおよびマスクと基板を高精度アライメント。
  5. 5枚のケースつきマスクを収納可能なマスクライブラリを搭載。自動でマスク交換を行います。
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