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自動精密露光装置 MA-6000シリーズ

自動精密露光装置 MA-6000シリーズ

特長

  1. 自重たわみ補正が不要な縦型プロキシミティ露光機。
  2. 独自の光学式ギャップセンサにより、マスクと基板間のプロキシミティギャップを非接触で高速・高精度に設定。
  3. 独自の光学式エッジセンサにより、基板端面と非接触で高精度にアライメント。
  4. 独自の高速画像処理技術でマスクおよびマスクと基板を高精度アライメント。(ピンアライメントも可)
  5. 3枚のケースつきマスクを収納可能なマスクライブラリを搭載。自動でマスク交換を行います。
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