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ノズルプリンティング装置 NP-750G/2200G

ノズルプリンティング装置 NP-750G/2200G

ノズルから溶液を柱状にディスペンス(吐出)することで、微細な直線パターンを塗布する装置です 。
最大秒速 5mの高速でノズルを移動させるため、単位面積あたりの流量を微小化でき、ナノオーダレベルの薄膜形成が可能です。

特長

  1. インクジェットに比べて幅広い液種に対応し、サテライトの発生もありません。
  2. 速度均一性±1%、 流量均一性±1.5%以内の優れた均一性を実現。
  3. 数十μm幅の微細パターンから、全面塗布まで対応します。
  4. 複数(マルチ)ノズル搭載により、3系統薬液の同時塗布が可能です。
  5. ノズル間ピッチ、基板アライメント、着弾位置アライメントなどを数分内で全て自動調整可能。
  6. 塗布プログラムをレシピで調整可能。

装置仕様

 型番
NP-750G
NP-2200G
 塗布方式
ノズルプリンティング法(当社独自)
 対象基材
ガラス基板、樹脂基板、フィルム、金属箔など
 基板サイズ
最大 730x920 mm (Gen. 4)
最大 2200x2500mm(Gen.8)
 ノズル移動速度
Max. 5m/sec.
 塗布幅
数十μm~
 塗布膜厚
数十nm~数μm
塗布パターン

  

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