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縦型精密露光装置 PA-6000シリーズ

縦型精密露光装置 PA-6000シリーズ

特長

  1. 自重たわみ補正が不要な縦型プロキシミティ露光機。
  2. 独自の光学式エッジセンサにより、マスクと基板間のプロキシミティギャップを非接触で高速・高精度に設定。
  3. 独自の高速画像処理技術でマスクおよびマスクと基板を高精度アライメント。
  4. 4枚のケースつきマスクを収納可能なマスクライブラリを搭載。自動でマスク交換を行います。
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