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コータ・デベロッパ SK-Nシリーズ

コータ・デベロッパ SK-Nシリーズ

大型アレイ用で実績のあるSKシリーズをベースに開発したハイスペックモデル。塗布、ベーク、現像の各プロセス均一性は業界最高レベルを実現しています。LTPS(低温ポリシリコン)-TFTなど、高精細パネルの生産に寄与します。

特長

  1. TFT量産に適した高生産性
    洗浄・現像・コータ・ベーク等の各構成ユニットの他、インラインされる露光装置、検査装置等も含め一貫システム制御。ユニット間の物流効率を追及し、最大限の生産性を発揮。
  2. コータ部には、スリット方式塗布装置「リニアコータ」を搭載。
  3. 塗布ノズルのメンテナンス作業も完全自動化。業界随一の連続稼動を実現。
  4. 省スペース設計なので、限られた生産スペースを有効にご活用いただけます。
  5. 資源利用効率の徹底追及により進化してきたSKシリーズは、環境にやさしいフラットパネルディスプレー作りを支えます。


【対応基板サイズ
  730 x 920 mm (G4) 以上

 

※Linearcoater、リニアコータは株式会社SCREENホールディングスの商標です。

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