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コータ・デベロッパ SKシリーズ

コータ・デベロッパ SKシリーズ

特長

  1. TFT量産に適した高生産性
    洗浄・現像・コータ・ベーク等の各構成ユニットの他、インラインされる露光装置、検査装置等も含め一貫システム制御。
    ユニット間の物流効率を追及し、最大限の生産性を発揮。
  2. コータ部は、スリット方式塗布装置「リニアコータ」、エア浮上搬送方式の「レビコータ 」から選択できます。
  3. 塗布ノズルのメンテナンス作業も完全自動化。業界随一の連続稼動を実現。
  4. 省スペース設計なので、限られた生産スペースを有効にご活用いただけます。
  5. 資源利用効率の徹底追及により進化してきたSKシリーズは、環境にやさしいフラットパネルディスプレー作りを支えます。

スリット式塗布装置 リニアコータ

省レジストで優れた塗布均一性を実現

量産用塗布装置として極めて安定した塗布性能を誇るリニアコータは、コータ・デベロッパSKシリーズ/SK-Nシリーズに搭載され、大型TFTアレイ用で世界シェアNo.1を獲得しています。

  1. スリット方式の塗布システムにより、レジスト使用効率はほぼ100%。
  2. 自社開発のスリットノズルを搭載し、大型基板でも優れた塗布均一性を実現。
  3. ノズルのメンテナンス作業を完全自動化し、連続生産を実現。
  4. 基板の大型化に対応した高速塗布。
  5. 異なる2種類の材料塗布に対応可能な、2ノズル仕様もラインアップ。

【塗布方式
  スリットコート法(ダイコート法)

【対応基板サイズ
  730x920mm(G4) 以上

レビテーションリニアコータ レビコータ

エア浮上搬送方式の量産用コータ

リニアコータの塗布技術をエア浮上搬送方式に展開しました。コータ・デベロッパSKシリーズへ搭載することで高い生産性を実現します。

  1. リニアコータの塗布技術を応用した高精度塗布。
  2. エア浮上搬送により更なるタクト短縮を実現。
  3. 基板をステージに吸着しないため、基板裏面にパーティクルを巻き込みません。
  4. 基板を浮上移動させるため、静電気を低減。

【塗布方式
  スリットコート法(ダイコート法)

【対応基板サイズ
  730 x 920 mm(G4) 以上

 

※Linearcoater、リニアコータは株式会社SCREENホールディングスの商標です。
※Levicoater、レビコータは株式会社SCREENホールディングスの商標です。

 

 

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