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洗浄装置 TSシリーズ

洗浄装置 TSシリーズ

特長

洗浄装置 TSシリーズ
  1. 傾斜搬送方式と複合洗浄方式の採用による、優れたパーティクル除去率を実現。
  2. 傾斜搬送方式により、純水・エア使用量を低減。
ウェットエッチング装置 TEシリーズ
  1. 独自開発の各種スプレイ・ノズル、水平・傾斜処理の組み合わせにより、お客様のプロセスに合わせた優れたエッチング処理を実現。
  2. 水洗・乾燥槽では、傾斜処理により純水・エア使用量を低減。
レジスト剥離装置 TRシリーズ
  1. 剥離ツール「マルチスキャンジェット」と傾斜処理により、高い剥離性能を実現。ミストの発生量を低減すると共に、レジスト再付着・残渣も防止。
  2. 傾斜処理により、純水・エア使用量を低減。
  3. 剥離後の洗浄機能として洗浄モジュールとのインラインも可能。

【対応基板サイズ
  300 × 300mm 以上

 

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