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セットアップステーション CU-9000

セットアップステーション CU-9000

CAD・CAMからの設計データを、当社の検査装置及び露光装置へ素早く送り出すことができるセットアップステーションです。
当社装置の性能を最大限に発揮するほか、自動化をはじめとするスキルレスな運用をサポートします。
多彩なデータフォーマットに対応しており、グラフィック画面で確認しながら作業ができるため、各装置の運用に適した情報も簡単に付与することが可能。
CU-9000はお客様に合わせた効率的なシステム構築を可能にします。

特長

検査装置には CU-9000-PI(検査装置用セットアップ・編集ソフトウエアパッケージ)

  1. 検査データの高速一括セットアップ
    あらかじめ検査レシピ(検査パラメータ設定基準)や基板の構造情報(レイヤー情報・ドリル情報)を準備しておくことで、どれだけ高多層な基板であっても一括で自動セットアップが可能。基板の高密度化に伴って検査パラメータが複雑化するなか、オペレータは検査レシピを選択するだけでスキルレスに素早く検査データを作成できます。
  1. 自動検査エリア抽出
    信号ラインやパッド部など厳しい検査が必要とされる領域や、電源層や文字部など厳しい検査が必要でないとされる領域を、データの構造から認識し自動で抽出します。ドリルの穴漏れ検査領域、DRC用検査マスク領域も自動で生成。それぞれの領域を正確に捉えることで、検査装置のパフォーマンスを最大限に引き出します。

露光装置には CU-9000-LI(露光装置用セットアップ・編集ソフトウエアパッケージ)

  1. イメージ比較
    設計データと、補正等が入った出力直前の描画データをCU-9000上で比較検査することで、描画データの品質・正確性と、基板の信頼性を確保します。
  2. シリアル描画指示
    シリアルナンバー文字列、2次元コード(QR、DataMatrix)、基板伸縮率などの描画指示が可能。露光後の基板管理の効率化に貢献します。
  3. サーバ機能を標準装備
    設計部門と製造部門が離れている場合や、露光装置を複数台で運用する際に、JOBデータを一括管理し効率的に振り分ける中間サーバソフトウエアを標準サポートしています。

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