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精密自動測長装置 DR-5500-FIII

精密自動測長装置 DR-5500-FIII

プリント基板、マスク業界をはじめ、液晶やタッチパネル業界など、さまざまなフィールドでニーズに応え、1,000台以上の実績を重ねている装置です。
当社が長年培ってきた画像処理や精密測定のノウハウを結集しており、プリント基板やマスクの微小パターンなどの自動測長を高速かつ高精度に実現しています。
また、コントラストを捉えるのが難しいITO膜などの薄膜に対しては、1/4波長板※を搭載することで位相差を可視化し、パターンの識別を可能とするなど、照明系や観察系のハードウエアも使用目的に合わせて選択でき、費用対効果の高いシステムとしてご活用いただけます。

※オプション

特長

  1. 充実した標準搭載機能
    • 画像処理機能
      当社独自の画像処理機能によりエッジ部を認識し、トップやボトムなどの高精度な測定を可能とします。
    • パターンサーチ機能
      対象画像の登録による測定箇所の規定が可能です。
    • 光量キャリブレーション機能
      光量変化時でも安定した測定を実現しています。
    • DRD測定
      数値を入力するだけで測定プログラムの展開を可能とします。
  2. 各業界のニーズに応える多彩なオプション
    • 4段階倍率制御顕微鏡
      倍率は標準の(1x、2x、3x、4x)のほか(1.5x、3x、4.5x、6x)や(2x、4x、6x、8x)のタイプもご用意しております。
    • CCDカメラ
      モノクロ1/2CCDカメラと、カラー1/2CCDカメラをご選択頂けます。
    • 1/4波長板
      ITO膜などの薄膜測定に有効です。
    • 照明系
      リングライト落射照明(100W)や透過照明(100W)をご用意しております。
    • 光源
      測定対象物に応じてハロゲンとLEDより選択可能です。
    • 温度コントロールチャンバ
      測定環境を一定に保つことにより、さらなる測定精度アップを図れます。

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