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製品情報

露光装置

DI

Ledia 6
Ledia 6
直接描画装置

検査装置

AOI

PI-9700
PI-9700
光学式外観検査装置
PI-9200F
PI-9200F
光学式外観検査装置
PI-9200H
PI-9200H
光学式外観検査装置
PI-9200S
PI-9200S
光学式外観検査装置
PI-9400
PI-9400
光学式外観検査装置
MI-9700
MI-9700
フォトマスク検査装置
VT 2000シリーズ
VT 2000シリーズ
目視確認ステーション
VT-1850
VT-1850
目視確認ステーション

AVI

FP-9000
FP-9000
最終外観検査装置

測定装置

DR-5500-FIII
DR-5500-FIII
精密自動測長装置

ソフトウエア

CU-9000
CU-9000
セットアップステーション
Sentflow
Sentflow
欠陥集計ソフトウエア

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