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フォトマスク検査装置 MI-9700

フォトマスク検査装置 MI-9700

新開発のデジタル補間技術により、最小ラインアンドスペース7.5μmのマスクを超高精細に検査します。また「Hardware - less Verification System」を活用することで、検査中でもスキャンし終えたエリアから順次ベリファイがスタートでき、オペレーションの効率化を実現しています。

特長

  1. 独自の検査アルゴリズム

    新たな欠陥検出アルゴリズムを開発し、ごく微小な欠け、突起をはじめ、黒ピン、白ピン、オープン、ショートなどの検出力を劇的に向上させました。

  2. 精密な検査を支える充実したユニット

    オートフォーカスユニットを標準搭載し、検査中、マスクの表面状態に合わせてリアルタイムにオートフォーカスを行っています。常にジャストフォーカスの位置でスキャンを行うことで、信頼性の高い高精細な検査を実現しています。また、フィルムマスクとガラスマスクそれぞれに最適な設置ユニットを装備させることで、ハンドリングによるマスクへのダメージを防いでいます。


検査対象とスループットの目安

L/S (μm) 7.5 11.25 15 22.5 30
秒/面 234 156 117 78 58

 ※ワークサイズ : 406×610mm 2ヘッド時
カメラ移動時間・アライメント時間・検査画像データ転送時間を除く 

仕様

光源 赤色LED
積載可能サイズ 〈ガラステーブル仕様〉 715(X)×790(Y)mm
〈ガラスマスク設置ユニット仕様〉 610(X)×770(Y)mm
最大検査エリア 〈ガラステーブル仕様〉 660(X)×720(Y)mm
〈ガラスマスク設置ユニット仕様〉 540(X)×710(Y)mm
機械寸法
 (幅×奥行×高さ)
本体:1,160×2,072×1,445mm
真空ポンプユニット(オプション) :222×800×410mm
重量 本体:950kg
真空ポンプユニット(オプション) :7kg

プリべりフィケーションシステム 「iSift」

検査後の欠陥確認が、ネットワーク上のPCで行えます。スキャンし終えたエリアから欠陥画像がリアルタイムでサムネイル表示され、マウス操作でOK/NGを効率良く判定して分類。VTシリーズでのベリファイ作業前に欠陥を選別することで、作業の効率化と確認時間の短縮を可能にします。


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