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光学式外観検査装置 PI-9400

光学式外観検査装置 PI-9400

反射照明と透過照明の組み合わせを選択可能。従来のプリント基板はもちろん、初期導入費を抑えたマスク検査用途としても、さらには穴検査やメタルマスク検査など、幅広い用途を兼ね備えたオールラウンドかつオールインワンの装置です。

特長

  1. マスク検査用途に

    透過照明によるフィルムマスク検査で確かな品質を付与。CAMデータを利用した正確な検査データを簡単にセットアップできるうえ、24μmまでのラインアンドスペースがハイスループットで検査可能です。

  2. 貫通穴検査用途に

    透過照明による貫通穴検査で良品穴の選別が可能。貫通穴の有無だけでなく、判定基準を設計値に対して任意に設定することが可能なため、品質要求レベルに応じた貫通穴サイズの良品判定検査も可能です。

  3. プリント基板やメタルマスク検査用途に

    反射照明と透過照明のハイブリッド検査を展開。反射照明によるパターン検査については、高い評価を得ている従来のPIの検査アルゴリズムを使用しています。もちろん、透過照明による貫通穴の検査も連続して行うことができるため、より高い信頼性をもった基板の生産供給に強力な付加価値を提供します。


検査対象とスループットの目安

L/S (μm) 24 36 48 72
面/時間 167 199 218 242

※ワークサイズ : 610×457mm 6ヘッド仕様・1スキャン時 基板交換時間を含む

仕様

光源 赤色LED
積載可能サイズ 760(X)×800(Y)mm
最大検査エリア 674(X)×720(Y)mm
最大検査エリア
(装置本体ベリファイ時)
674(X)×610(Y)mm
機械寸法
 (幅×奥行×高さ)
本体:1,160×2,050×1,260mm
真空ポンプユニット(オプション):222×800×410mm 
重量 本体:880kg
真空ポンプユニット(オプション):7kg 

AOIセットアップシステム 「EzPrex」

検査前の段取りを高速かつスキルレスに


厚み・アライメント・スレッショルドなど各種パラメータの最適値を、高速かつ自動で設定できる「EzPreX」を標準搭載。独自のアルゴリズムを採用し、極めて精度の高いセットアップを可能にしました。また、画面を見ながら簡単に最終調整ができる「EzTune」も備えており、オペレーターの負担を大幅に軽減します。

 

プリべりフィケーションシステム 「iSift」

検査後の欠陥確認が、ネットワーク上のPCで行えます。スキャンし終えたエリアから欠陥画像がリアルタイムでサムネイル表示され、マウス操作でOK/NGを効率良く判定して分類。VTシリーズでのベリファイ作業前に欠陥を選別することで、作業の効率化と確認時間の短縮を可能にします。


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