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光学式外観検査装置 PI-9200H

光学式外観検査装置 PI-9200H

世界中で多数の納入実績を誇るPIシリーズのハイスペックモデルです。大日本スクリーンが長年培ってきた画像処理技術と検査アルゴリズムによる確かな検査品質、世界トップクラスの検査スループットで、HDI基板をはじめとしたファインパターンの検査が可能。ブロワユニットを内蔵したコンパクトな装置設計で、省スペースも同時に実現しています。

特長

  1. 世界No.1 のスループット

    独自開発の画像処理ユニットを搭載し、世界No.1の検査スループットを達成。高精度なデジタル補間技術と信頼性の高い検査アルゴリズムにより、低虚報で安定した検査を同時に実現しています。

     
  2. ワイドレンジをカバーする対応力

    一般基板からHDI基板までオールマイティに対応。また裏写りの影響を軽減する機能や多様な基板に対応した吸着テーブルで、リジッド基板のみならず、フレキシブル基板など薄物基板の検査にも活用できます。


検査対象とスループットの目安

L/S (μm) 24 36 48 72
面/時間 167 155 175 204

 ※ワークサイズ : 610×457mm 基板交換時間を含む

仕様

光源 赤色LED
積載可能サイズ 700(X)×730(Y)mm
最大検査エリア 674(X)×720(Y)mm
最大検査エリア
(装置本体ベリファイ時)
674(X)×670(Y)mm
機械寸法 
(幅×奥行×高さ)
1,160×2,070×1,264mm
重量 920kg

 

AOIセットアップシステム 「EzPrex」

検査前の段取りを高速かつスキルレスに


厚み・アライメント・スレッショルドなど各種パラメータの最適値を、高速かつ自動で設定できる「EzPreX」を標準搭載。独自のアルゴリズムを採用し、極めて精度の高いセットアップを可能にしました。また、画面を見ながら簡単に最終調整ができる「EzTune」も備えており、オペレーターの負担を大幅に軽減します。

 

プリべリフィケーションシステム 「iSift」

検査後の欠陥確認が、ネットワーク上のPCで行えます。スキャンし終えたエリアから欠陥画像がリアルタイムでサムネイル表示され、マウス操作でOK/NGを効率良く判定して分類。VTシリーズでのベリファイ作業前に欠陥を選別することで、作業の効率化と確認時間の短縮を可能


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