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光学式外観検査装置 PI-9200S

光学式外観検査装置 PI-9200S

世界中で多数の納入実績を誇るPIシリーズのスタンダードモデルです。大日本スクリーンが長年培ってきた画像処理技術と検査アルゴリズムで確かな検査品質を提供します。スキルレスなセットアップシステムで導入も簡単。ブロワユニットを内蔵したコンパクトな装置設計で、省スペースも同時に実現しています。

特長

  1. 最高水準のテクノロジーで高い検査信頼性を実現

    印刷・製版業界で長年培ってきた高いスキャニング技術・画像処理技術を、プリント基板製造工程に応用展開したPIシリーズは、欠陥流出を防ぐとともに、歩留まりを大きく向上させる総合検査システムとして活躍します。

     
  2. シンプルなオペレーション

    検査条件設定はCU-9000でCAMデータとレシピを選択するのみ。
    自動で複数のレイヤーを一括でアウトプットできます。
    基板の厚みやアライメントの設定といった煩わしい検査前段取りも、EzPreXにワンボタンでお任せ。
    セットアップ時間を大幅に短縮するとともに、スキルレスでストレスフリーな運用をサポートします。

  3. 無駄な作業を極限まで削減
    ロット間のパターン輝度の差異を、PIシリーズが自動でコントラスト調整。
    常に安定した条件で検査することができ、微調整の手間を省きます。


検査対象とスループットの目安

L/S (μm) 36 48 72
面/時間 155 175 204

 ※ワークサイズ : 610×457mm 基板交換時間を含む

仕様

光源 赤色LED
積載可能サイズ 700(X)×730(Y)mm
最大検査エリア 674(X)×720(Y)mm
最大検査エリア
(装置本体ベリファイ時)
674(X)×670(Y)mm
機械寸法
 (幅×奥行×高さ)
1,160×2,070×1,264mm
重量 920kg

AOIセットアップシステム 「EzPrex」

検査前の段取りを高速かつスキルレスに


厚み・アライメント・スレッショルドなど各種パラメータの最適値を、高速かつ自動で設定できる「EzPreX」を標準搭載。独自のアルゴリズムを採用し、極めて精度の高いセットアップを可能にしました。また、画面を見ながら簡単に最終調整ができる「EzTune」も備えており、オペレーターの負担を大幅に軽減します。

 

プリべりフィケーションシステム 「iSift」

検査後の欠陥確認が、ネットワーク上のPCで行えます。スキャンし終えたエリアから欠陥画像がリアルタイムでサムネイル表示され、マウス操作でOK/NGを効率良く判定して分類。VTシリーズでのベリファイ作業前に欠陥を選別することで、作業の効率化と確認時間の短縮を可能にします。


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