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光学式外観検査装置 PI-9700

光学式外観検査装置 PI-9700

世界中で数多くの実績を誇るPIシリーズのハイエンドモデルです。テレセントリック光学系と同軸落射およびリング拡散照明により、アディティブ方式をはじめ超高精細な回路パターン検査に特化。S/N比を大幅に向上させたCCD基板で微細なマイクロショートも鮮明に撮像することができます。また近年ではタッチパネルの引き出し線検査で実績を重ねるなど、様々な業界で活躍しています。

特長

多様な設計に応じた精密な検査

CU-9000で抽出される信号ラインやパッド部などのさまざまな領域を、それぞれ独立した基準で高速かつ精密に検査。ハイエンドな基板検査の信頼性を飛躍的に向上させています。

微細な欠陥も逃さずキャッチ

新開発の画像フィルター機能を使い、スキャンイメージをリアルタイムで自動認識しながら、信号ラインの密集部に潜むダークショートを強調処理。他にも独自機能を数多く備え、高感度・低虚報を両立、精密で信頼性のある検査を実現しています。

検査装置から工程改善システムへ

Sentflowと連携することで、ICパッケージ基板のピースやシートの検査結果を自動的に集計管理。各レイヤーの状況を常に「見える化」します。
トレーサビリティの確保や欠陥分布のチェックなど多彩な機能で工程改善を強力にサポートし、歩留まりの改善に大きく貢献します。

仕様

光源 赤色LED
積載可能サイズ 620(X)×650(Y)mm
最大検査エリア 560(X)×640(Y)mm
最大検査エリア(装置本体ベリファイ時) 1560(X)×510(Y)mm
機械寸法(W×D×H) 本体:1,180×1,975×1,269mm ブロアユニット:498×800×680mm
重量 本体:950kg ブロアユニット:96kg

AOIセットアップシステム 「EzPrex」

検査前の段取りを高速かつスキルレスに


厚み・アライメント・スレッショルドなど各種パラメータの最適値を、高速かつ自動で設定できる「EzPreX」を標準搭載。独自のアルゴリズムを採用し、極めて精度の高いセットアップを可能にしました。また、画面を見ながら簡単に最終調整ができる「EzTune」も備えており、オペレーターの負担を大幅に軽減します。

 

プリべリフィケーションシステム 「iSift」

検査後の欠陥確認が、ネットワーク上のPCで行えます。スキャンし終えたエリアから欠陥画像がリアルタイムでサムネイル表示され、マウス操作でOK/NGを効率良く判定して分類。VTシリーズでのベリファイ作業前に欠陥を選別することで、作業の効率化と確認時間の短縮を可能にします。


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