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直接描画装置 LANZAN

直接描画装置 LANZAN

モバイル端末やカーエレクトロニクスの進化に伴う、基板の高密度化・高精細化ニーズに応える、プリント配線板回路パターン用直接描画装置「LANZAN」。ソルダーレジスト用途で高い信頼性を誇る「Ledia6」の機能性の数々を踏襲し、さらに独自開発の広角高解像ヘッドにより、ワンパス高精細描画と8μmレベル世界最高水準の生産性を実現。MSAP法に求められる微細化ニーズにも 柔軟に対応します。

特長

新開発の露光エンジンを搭載した「ワンパス露光システム」
独自の光学系技術から生まれた新開発の露光エンジンを搭載。5本の広角高解像・高出力ヘッドで基板幅全体をカバーし、ワンパスでの高速露光を実現します。

アライメント・フォーカス・露光をワンパスで
アライメント読み込み時と露光時のいずれも、ステージを一時停止させることなくワンパス処理し、高いスループットを維持。さらにフォーカスも同時にワンパスで行うことで、優れた描画品質をご提供します。





最小線幅8μmの高精細パターニング

独自の画像処理アルゴリズムにより、L/S=8/12μm の高精細パターニングを実現。MSAP法のピッチ60クラスはもちろん、さらに高精細なピッチ40クラスにも対応する高精細パターニングを実用レベルで達成します。








高精細パターニングを支える先進機能
多彩なアライメントアルゴリズムを搭載
基板に配置された複数のアライメントマークを、スピードを落とさずワンパスでスキャン。その測定結果をもとに、基板全面をカバーする「フルスケールアライメント」、個片単位での「エリアアライメント」など多彩なアルゴリズムで、基板ごとに最適な補正結果を実現します。

メカニカルクランプ
ステージのブロワー吸着に加え、基板サイズに合わせてクランプが自動で移動し、基板の四辺を確実に固定。基板の歪みや反りをなくして高精度な描画を行うことができます。

オートフォーカス
露光面の変化をリアルタイムに読み取り、基板の歪みや反りを正確に検出。フォーカスを極限まで追求した、最高水準の描画を可能にします。


量産から試作・小ロットまで選べるシステム構成

片面自動露光タイプのほか、反転機を加えた両面自動露光タイプ、マニュアル露光タイプをラインアップ。量産から試作・小ロットまで、お客さまの運用に合わせてお選びいただけます。

 


バーコードによるトレーサビリティ管理

インラインで読み込んだ「製造履歴確認用2次元バーコード」を、各個片の露光データに自動生成して一括露光。個片断裁後の最終外観検査段階でも確実な追跡が可能で、製造工程全体の高いトレーサビリティをご提供します。
※ 一部オプション機能を含みます。

 


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