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2012年11月28日

Doc. No.: NR121128

超薄型半導体ウエハーに対応する枚葉式洗浄装置を発売
~スマートフォン搭載カメラの半導体センサー、ハイブリッド車のパワー半導体などの生産に対応~

  大日本スクリーン製造株式会社は、スマートフォン搭載カメラなどへの需要が急増している裏面照射型CMOSセンサーや、ハイブリッド車、電気自動車のほか、太陽光発電など再生可能エネルギーシステムの電子制御に不可欠なパワー半導体の生産に対応する枚葉式洗浄装置「SU-2000」を、2012年12月に発売。日本が世界市場をけん引する半導体センサー・パワー半導体分野への装置ラインアップを拡充します。

 

 

 

SU-2000

この画像の印刷用データ(解像度300dpi)は、

下記URLよりダウンロードできます。
(www.screen.co.jp/press/nr-photo_2012-2013.html)

 

SU-2000

 

 

                                     
販売開始予定

2012年12月5日

 


年間販売予定台数


 


15台


 

 

 

 

 近年、スマートフォンやタブレットPCなどに搭載されるカメラ用イメージセンサー分野では、小型化と高解像度化の両立が求められており、素子の裏面から直接受光する方式を採用した裏面照射型CMOSイメージセンサーが大きな注目を集めています。また、ハイブリッド車や電気自動車のほか、太陽光発電など再生可能エネルギーシステムの電力を効率的に制御するインバーターなどに用いられるパワー半導体の需要も急速に拡大しています。これらの半導体素子の製造工程では、ウエハーを薄く加工する必要があるため、洗浄プロセスにおいても超薄型ウエハーへの対応が急務となっています。また、これらの半導体素子の量産には、従来の生産ラインを利用することが多いため、置き換えや増設が可能なコンパクトで生産性の高い枚葉式洗浄装置へのニーズが高まっています。

 このような業界の動向を背景に当社は、半導体製造装置事業の新たな領域の開拓を推進する「FRONTIERプロジェクト」の一環として、枚葉式洗浄装置「SU-2000」を開発しました。「SU-2000」は、当社の半導体製造装置事業の主力製品である「SU-3200」の洗浄技術とノウハウを継承、活用し、さらに超薄型半導体ウエハーに対応可能な洗浄方式を採用。また、省スペース化およびコストパフォーマンスを追求するとともに、回路の微細化や新しい生産手法へもフレキシブルに対応できるなど、業界が抱えるさまざまな課題を解決する装置です。

 当社は、今回の「SU-2000」の発売により、新たな分野に向けた製品ラインアップを充実させ、事業領域のさらなる拡大を図るとともに、半導体業界の一層の発展に貢献していきます。 

 

* この装置は、12月5日(水)から7日(金)まで千葉「幕張メッセ」で開催される「SEMICON Japan2012」でご紹介します。

 

 

● 本件についてのお問い合わせ先


大日本スクリーン製造株式会社  広報室 Tel: 075-414-7131 Fax: 075-431-6500 URL: www.screen.co.jp


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