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2013年4月26日

Doc. No.: NR130426

半導体ウエハーのパターン検査装置市場へのビジネス展開を加速
~ウエハー外観検査装置を欧州大手デバイスメーカーから受注~

  大日本スクリーン製造株式会社はこのほど、欧州大手デバイスメーカーのシンガポール工場から、半導体ウエハーのさまざまなパターン検査に対応する外観検査装置「ZI-2000」の大口受注を獲得。この受注を足掛かりに、安全性が重視される車載用パワー半導体を中心に需要が高まっている、半導体ウエハーのパターン検査装置市場へのビジネス展開を加速させます。

 

 

 

ZI-2000

この画像の印刷用データ(解像度300dpi)は、

下記URLよりダウンロードできます。
(www.screen.co.jp/press/nr-photo_2012-2013.html)

 



 

 近年のパワー半導体市場は、ハイブリッド車や電気自動車の他、太陽光発電などの再生可能エネルギーシステムの普及に伴って急速に拡大しており、2010年の142億ドルに対して2012年には160.2億ドル、2017年には261.2億ドルに達すると予測されています。その中でも車載用パワー半導体の外観検査においては、目視による検査が中心のため、安全性の観点から信頼性の向上が急務となっており、各デバイスメーカーでは生産性の向上と確実な品質管理の両立が求められています。

 このような市場の動向を受け、当社は半導体ウエハーの外観検査装置「ZI-2000」を開発。この装置は、独自設計の高解像度レンズと検査アルゴリズムを搭載するなど、当社が長年培ってきた画像処理技術を応用することで、従来の検査では発見できなかった欠陥の検出を可能にしました。回路の微細化と高生産性の両立が求められる中、検査対象となるウエハーのチップサイズやウエハー1枚当たりの個数にかかわらず高速処理を維持できる機構や、自己学習機能などを備えた自動欠陥分類ソフトウエアによるオペレーション作業の低減などが評価され、このたび欧州大手デバイスメーカーのシンガポール工場から大口受注を獲得するに至りました。すでに1台を納入しており、残りの受注分についても今後順次納入する予定です。

 当社は今回の受注を弾みに、パワー半導体を中心に活発化するパターン検査装置市場でのビジネスの拡大を目指すとともに、半導体業界のさまざまなニーズに応え、同業界の発展に貢献していきます。

 

 

※ 出典:矢野経済研究所 「2011-2012 進展するパワー半導体の最新動向と将来展望」

 

 

● 本件についてのお問い合わせ先


大日本スクリーン製造株式会社  広報・IR室 Tel: 075-414-7131 Fax: 075-431-6500 URL: www.screen.co.jp


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