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2014年11月17日

Doc. No.: NR141117

SCREENセミコンダクターソリューションズとimec 最先端ノードの共同研究開発に合意

  株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズとimecナノエレクトロニクス研究開発センターは、洗浄、ウェットエッチング、リソグラフィー(コーターデベロッパー)分野に関して、imecの「サプライヤーハブ」構想を活用する先端共同開発に合意しました。

 

 今日の半導体業界で生じている急速な進歩には、製造装置の飛躍的な進化が必要とされており、装置および素材サプライヤーの役割がますます重要になっています。これらのサプライヤーが、研究開発の早い段階から、主要な半導体デバイスメーカーや関連するサプライヤーと協力関係を構築することにより、製造技術の急速な進歩を促進し、効率的な開発投資とリスクの最小化、費用対効果の最大化を可能にします。
 imec社長兼CEOのLuc Van den hoveは、「当社の『サプライヤーハブ』は、先端プロセス開発において、サプライヤーが従来よりも深く、そして初期段階から開発に関与することが可能な、中立的なオープンイノベーション研究開発プラットフォームの提供を目的としています。SCREENセミコンダクターソリューションズの洗浄装置と最先端コーターデベロッパーは、imecの先端半導体プロセス技術開発にとって極めて重要であり、既に『サプライヤーハブ』に参画しているサプライヤーに続き、このようなグローバル企業と共にimecが高効率な先端開発を推進することができるのは、この上ない喜びです」と述べています。

 SCREENセミコンダクターソリューションズ社長の須原忠浩は、「当社が広範囲にわたりimecと共同研究を展開することは、当社がお客さまに最先端の研究開発装置と先進の半導体製造に必要な革新的ソリューションを提供し続けることを可能にします。『サプライヤーハブ』の環境は7nmノード以細の技術開発に適合しており、我々はそこでトランジスタから配線工程に至る広範囲な洗浄技術、及びリソグラフィー技術の開発を加速してまいります」と述べています。
 「サプライヤーハブ」に参画するサプライヤーは、imecの研究開発プラットフォームを活用し、プロセスコントロール技術、ハードウェア・ソフトウェア等のオプション開発、さらに新しい材料の評価等を促進することができます。共同開発契約に基づき、SCREENセミコンダクターソリューションズは最新の枚葉式洗浄装置「SU-3200」をimecに設置し、先端洗浄技術を効率的に広範囲に開発していきます。またimecに設置済みの最新コーターデベロッパー「SOKUDO DUO」により、先端リソグラフィープロセス技術開発を進めていきます。

 

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
SCREENセミコンダクターソリューションズは、SCREENホールディングスの前身である大日本スクリーン製造の半導体機器事業を継承し、設立されたグループ会社です。半導体製造装置における世界のトップ10サプライヤーとして、長年培ってきた洗浄およびフォトリソグラフィーをコア技術に、ウエハー洗浄装置やコーターデベロッパー、各種アニール装置などさまざまな分野にラインアップを展開する半導体製造装置の専門メーカーです。(www.screen.co.jp/spe


imec
imecはナノエレクトロニクス研究で世界をリードする研究機関です。imecは科学的知識に基づく技術革新を目指し、情報通信・ヘルスケア・エネルギー技術について世界中の企業と共同研究を行っています。最先端の研究施設に世界中から研究者が集まり、人類と持続可能な社会実現に貢献すべく研究開発を行っています。imecはベルギー王国ルーベン市に本部を構え、ベルギー・オランダ・台湾・米国・中国・インド・日本に拠点があります。670名以上の企業から派遣された研究者および客員研究員を含め、2,080名の研究者、スタッフが所属しています。2013年の収益は3.32億ユーロ。imecに関する詳しい情報は、(www.imec.be)をご覧ください。最新の情報については、「月刊imec」に掲載されています。月刊imecはタブレットやスマートフォンの専用アプリ(Apple iOS/Android)またはウェブサイトを通じてご覧いただけます。(www.imec.be/imecmagazine
imecは以下の法人活動を表す登録商標です。IMEC International(各国のIMECを統括するベルギー法人)、imec Belgium(ベルギー・フランダース政府所管のNPO法人IMEC vzw)、imec the Netherlands(オランダ政府所管Holst Centreの一部であるIMEC Netherland)、imec Taiwan(IMEC Taiwan Co.)、imec China(IMEC Microelectronics (Shangai) Co. Ltd.)およびimec India(Imec India Private Limited)


 【報道関係者からのお問い合わせ先】
 Imec: Hanne Degans, External Communications Officer
 TEL: +32 16 28 17 69 E-mail:hanne.degans@imec.be

 株式会社SCREENホールディングス 広報・IR室
 TEL:075-414-7131  E-mail: nr-info@screen.co.jp

 

 


 掲載されている情報は発表時のものです。最新情報と異なる場合がありますのでご了承ください。


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