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1997年7月2日

ギガビット世代対応の設備を完備
半導体製造装置生産工場を建設

大日本スクリーン製造株式会社(本社:京都市上京区/社長:石田 明)は、滋賀県多賀町のびわ湖東部中核工業団地内に、半導体製造装置の生産工場建設を決定、1998年10月操業開始を目指し本年9月に着工します。設備投資額は約70億円を予定しています。

新工場

大日本スクリーンは半導体製造のウェーハ処理工程(前工程)で使用するレジスト(感光性樹脂)塗布・現像装置やスクラバー(枚葉式洗浄装置)、ウェットステーション(バッチ式洗浄装置)を開発・製造、国内外に供給しており、現在、これらの製造装置は主に洛西事業所(京都市伏見区)・野洲事業所(滋賀県野洲町)・彦根地区事業所彦根製造部(滋賀県彦根市)の3拠点で生産しています。

半導体メーカー各社の新規設備投資の先送りなど一時的な低迷はあるものの、64メガビットDRAM(記憶保持動作が必要な随時書き込み読み出しメモリー)の量産がすで始まり、256メガビットDRAM、1ギガビットDRAMなど次世代半導体や300ミリウェーハを使った半導体の量産ラインが西暦2000年以降には動き出すと言われ、中長期的に見れば半導体製造装置市場の拡大は確実視できます。この市場環境を考えると現在の3拠点では生産能力に限界があることと、次世代半導体や300ミリウェーハ対応装置に適合した生産設備を必要と判断し、今回の新工場建設を決定しました。

新工場は、1ギガビットDRAM対応製造装置の生産に耐えうる高度なクリーンルーム内に一貫生産環境を整え、ユニット組立から総合組立、検査、梱包まで同一棟内で作業を行います。レジスト塗布・現像装置やスクラバーなど「スピンナー」と呼ぶ装置を生産、操業初年度の事業規模は、月産50台(年産600台)、年間売上高で500億円を予定しています。現在、スピンナーは洛西事業所で生産していますが、新工場が完成するとスピンナーの生産能力が2倍に増加します。 建設規模は、敷地面積約30,000平方メートル、建築面積約11,000平方メートル、鉄骨3階建て、延べ床面積は約30,000平方メートル。このうち1階および2階がクリーンルームになっています。当初の従業員数は、当社社員250人、構内協力企業社員が約400人を予定しています。

<新工場の概要>

      所在地:滋賀県犬上郡多賀町大字四手字諏訪(びわ湖東部中核工業団地A宅盤)

 

      目的:半導体製造装置の生産

 

      着工予定:1997年9月

 

      工事完成予定:1998年8月

 

      操業開始予定:1998年10月

 

      敷地面積:約30,000平方メートル

 

      建築面積:約11,000平方メートル

 

      延べ床面積:約30,000平方メートル

 

      主な建物:

 

      ・生産棟;鉄骨造 地上3階建て 延べ床面積約26,300平方メートル

 

      ・その他;機械棟・受変電棟など

 

    従業員数:操業開始時;社員 約250人、協力企業社員 約400人

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