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1997年7月25日

最新液晶パネル製造装置を出展
ファインプロセステクノロジー・ジャパン

大日本スクリーンは、7月2日~4日の3日間、東京・有明の東京ビッグサイトで開催されたフラットパネルディスプレー(FPD)製造装置・材料関連機材展「ファインプロセステクノロジー・ジャパン」に最新ニーズにこたえる機器を展示しました。当社は新製品の大型基板用スピンナー「SF-700G」、洗浄プロセッサー「TS-552G」に加え、スピンスクラバー「QS880-G」を出品し、リバースロールコーター「RR-550G」を初めてパネル展示しました。

QS-880G

「QS880-G」は、省スペース設計で定評のあるQSシリーズを550×650ミリの大型基板まで対応させた最新のスピンスクラバーで、TFT(薄膜トランジスタ)式液晶の製造プロセスの中で成膜前洗浄や工程間洗浄に対応します。

RR-550G

また、「RR-550G」は独自のリバース塗布方式の採用により、歩留りに悪影響を与えるパーティクルやピンホールの発生を大幅に削減したロールコータです。STN(超ねじれネマティックス)式液晶やPDP(プラズマ・ディスプレー・パネル)製造用のレジスト塗布に対応し、高い生産性を実現します。

液晶パネルの市場動向と当社の装置を紹介したビデオ放映の当社コーナーでは、市場の活況さを反映して多くのユーザーが熱心に見入る姿が見られました。同展には国内外から303社が出展し、3日間で昨年を上回る2万4千人以上の入場者がありました。


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