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大型パネル用直接描画装置 DW-3000 for PLP

大型パネル用直接描画装置 DW-3000 for PLP

特長

  1. 世界最高水準の「2.0μm高解像度描画」
    独自のiGLV光学エンジンを搭載した描画ヘッドと、長年培った光学システムによるレーザー制御 技術を融合し、量産型直接描画装置として世界最高水準の解像力2μmを実現。
    今後ますますファイン化が進む先端パッケージのパターニングに対応します。
  2. 最適露光を可能にする「画像自動補正機能」
    SCREENの誇る先進の印刷画像解析技術を応用した、独自の画像自動補正機能を搭載。 チップ再配置時の位置ズレを読み込んで、露光データを自動的に補正することで、直接描画装置の優位性を生かした最適露光を実現できます。
  3. 世界最速の「Quad headコンセプト」
    高出力レーザーと、4台の描画ヘッド(Quad head)の組み合わせにより、高解像直描露光装置としては世界最速*のスループットを実現します。 ※当社調べ
  4. FOPLP向けの大型パネルに最適
    最大620mm×650mmまでの大サイズ角型パネルをカバー。ガラス、樹脂、PCBなど材質を問わず、FOPLP製造に幅広く対応します。
    ● 当社高精度リニアコータをはじめ、各種レジスト塗布システムとの組み合わせが可能です。

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