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枚葉式洗浄装置 SU-3300

枚葉式洗浄装置 SU-3300

半導体デバイスの微細化・多様化に伴い、ウェット洗浄装置には脆弱構造のパターン倒壊抑制、微小パーティクルの制御などの課題をクリアしながら、さらにC.O.O.低減を実現する高い生産性と安定稼動が求められています。
SCREENセミコンダクターソリューションズは、1983年に回転式枚葉洗浄装置を開発して以来、今日まで長年にわたってウェーハ上の気液界面の最適な処理を追求し、枚葉式洗浄の技術を進化させてきました。その技術とノウハウを受け継ぐ7番目の装置として誕生した「SU-3300」は、最大24チャンバ搭載を可能とした圧倒的な生産性の高さと、高い処理性能、さらにチャンバ間差を最小化する最新の機能を搭載することで、安定稼動を実現。今後ますます厳しくなる半導体デバイス製造の要求に、的確にお応えします。

Seven features



最大24チャンバ搭載
世界最高水準の高生産性
Nanodry7
微細パターンの倒壊を抑制する
新乾燥技術


4段×6タワー構造
処理チャンバ最小化による
省スペース設計
Nano control nozzle
優れたエッチング均一性と
薬液削減を実現
APAC2
チャンバ内の清浄度をさらに高める
クリーン化技術


Nanocycle
常に最適な状態で薬液を供給
シングルチャンバサービス
チャンバ単位のメンテナンスで
ダウンタイムを最小化
   

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