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ウェットステーション WS-820L / WS-620C

ウェットステーション WS-820L / WS-620C

特長

  1. 2タイプの搬送方式を準備
    キャリア搬送処理のWS-620Cと、キャリアレス搬送処理のWS-820Lを提供します。
  2. フレキシブルな設計
    目的に応じて、自由なシステム構成が可能。処理槽構成は最大13槽まで構成可能です。
  3. 高スループット
    複数槽設置と最大6台まで搭載可能な搬送ロボットにより、高スループットを実現します。
  4. 高品質処理
    処理槽設計の最適化や厳しい薬液管理、クリーンな乾燥部などにより、安定して高品質な処理が可能です。
  5. 周辺機器も充実
    ウェーハ移載機、カセットストッカなどの周辺機器も多種準備しています。
  6. ウォータマークを抑制
    減圧乾燥装置が搭載可能なため、ウォータマークの発生を低減したクリーンな乾燥ができます。(WS-820Lのみ対応)

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